AXY110

Active axes

X,Y

Travel range

160 mm（upper axis）；180 mm（lower axis）

Max. velocity

upper axis：0.7 m/s lower axis：0.8 m/s

Max. acceleration

upper axis：0.7 g lower axis：2 g

Sensor resolution

5 nm

Bidirectional repeatability

±0.1 µm（upper axis）；±0.1 µm（lower axis）

Accuracy_calibration value

±0.2 µm（upper axis）；±0.2 µm（lower axis）

Straightness

±0.5 µm（upper axis）；±0.5 µm（lower axis）

Flatness

±0.5 µm（upper axis）；±0.5 µm（lower axis）

Pitch

25 µrad（upper axis）；25 µrad（lower axis）

Yaw

10 µrad（upper axis）；10 µrad（lower axis）

Max. load

4.5 Kg

Peak force

85 N

Continuous force

39 N

Moving mass

upper axis: 2.8 Kg lower axis: 10 Kg

Total mass

28.5 Kg

Dimensions

559 mmX459 mmX109 mm