Air-bearing XY stage with ultra-thin profile dimensions for high-accuracy, high-stiffness horizontal linear motion.
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AXY110 |
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Active axes |
X,Y |
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Travel range |
160mm（upper axis）；180mm（lower axis） |
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Max. velocity |
upper axis：0.7m/s lower axis：0.8m/s |
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Max. acceleration |
upper axis：0.7g lower axis：2g |
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Sensor resolution |
5nm |
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Bidirectional repeatability |
±0.1µm（upper axis）；±0.1µm（lower axis） |
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Accuracy_calibration value |
±0.2µm（upper axis）；±0.2µm（lower axis） |
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Straightness |
±0.5µm（upper axis）；±0.5m（lower axis） |
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Flatness |
±0.5µm（upper axis）；±0.5µm（lower axis） |
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Pitch |
25µrad（upper axis）；25µrad（lower axis） |
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Yaw |
10µrad（upper axis）；10µrad（lower axis） |
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Max. load |
4.5Kg |
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Peak force |
85N |
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Continuous force |
39N |
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Moving mass |
upper axis: 2.8Kg lower axis: 10Kg |
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Total mass |
28.5Kg |
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Dimensions |
559mmX459mmX109mm |
